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在操控过程中,由测厚探头检测到薄膜厚薄信号传送到计算机,计算机把厚薄信号与当时设定均匀厚度进行对照,根据厚薄误差量以及曲线变化趋势进行运算,操控电机驱动阀门移动,当薄膜偏厚时,电机正向移动,风口关小;相反,电机反向移动,风口增大,通过改动风环圆周上…
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